Kurze Einführung in Zirkonium-Sputtertargets
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Kurze Einführung in Zirkonium-Sputtertargets
Zirkonium (Zr) ist ein Silbermetall mit einer Dichte von 6,52 g/cm3. Zr hat einen sehr kleinen Neutronenabsorptionsquerschnitt und einen relativ hohen Schmelzpunkt (1855 Grad oder 3371 Grad F), was es zu einem hervorragenden Material für Kernkraftstäbe macht. Zirkoniumschwamm und Kristallstäbe sind die Rohstoffe für die Herstellung von Sputtertargets. Obwohl Zirkoniumschwamm billig und von geringer Reinheit ist, hat er einen hohen Sauerstoffgehalt. Zirkoniumkristallstäbe sind teurer und haben eine höhere Reinheit, was sie zu idealen Materialien für Sputtertargets macht.
Sowohl Zr als auch Hf können in der Nuklearindustrie verwendet werden. Allerdings weisen sie hinsichtlich des Neutroneneinfangs unterschiedliche Eigenschaften auf. Obwohl sie viele ähnliche Eigenschaften haben, müssen sie durch Flüssigextraktion oder Destillation geschmolzenen Salzes getrennt werden. Wir bieten zwei Qualitäten hochreiner Zirkoniumtargets an: niedriges Hafnium (250ppm oder 0,025 %) und hohes Hafnium.
